YX-2H8大晶棒定向儀是在標(biāo)準(zhǔn)定向儀基礎(chǔ)上,針對單晶硅、砷化鎵、藍(lán)寶石等多種晶體設(shè)計(jì).主要用于晶圓片、晶棒的測量，顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道。
  標(biāo)準(zhǔn)配置為GA 、GC、測角儀
  1，一側(cè)GA測角儀能測晶體Φ2---Φ8英寸晶圓片；如硅（111）藍(lán)寶石C等角度；同時(shí)能測晶棒參考面或OF；如硅：（110）藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度。                                
  2， 另一側(cè)GC測角儀能測晶棒端面，測量時(shí)可通過改變滾杠寬度達(dá)到測量Φ5---Φ8英寸，長500㎜晶棒端面目的，如硅：（111，100）藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度。同時(shí)也能測晶圓片。

主要參數(shù)：

項(xiàng) 目	參 數(shù)
晶圓片直徑	2—8英寸； 最大11英寸
晶棒直徑	5—8英寸 ；最大11英寸
晶棒長度	500㎜ ； 最長550㎜
樣品板面積	43寬×112高 ㎜
定向精度	±30″
數(shù)顯方式	θ角：度；分；秒；最小讀數(shù)10″
數(shù)字位置	外置立式
技術(shù)指標(biāo)	符合YX-2參數(shù)