用途：該儀器專門用于硅單晶棒定向測量，與我公司生產(chǎn)的YX-5Z\6Z及多線切割設(shè)備配套使用，最大特點(diǎn)是，測量晶向后直接計(jì)算出晶棒的偏轉(zhuǎn)角，X和Y值，并對偏晶向的要求可進(jìn)行準(zhǔn)確計(jì)算出偏晶向的角度值。
   結(jié)構(gòu)：該儀器有X射線控制器、測角儀、記錄儀、電磁光閘、微機(jī)控制、鍵盤、輸入信息、屏幕菜單顯示、數(shù)據(jù)打印、角度顯示、峰值強(qiáng)度表等組成。計(jì)算軟件采用國際通常算法，以度為單位，顯示最小精度0.001度，測量精度±0.008度（±30〃），能夠測量直徑3～12英寸，長500㎜，測量晶面為111、100等。
   型號：  YX-6D為單測角儀,定向計(jì)算。
           YX-6DA為單測角儀，定向計(jì)算，全封閉防護(hù)罩。

   主要參數(shù):

電 源	220V 50HZ
功 率	0.5KV
管 電 壓	30KVP
管 電 流	0-5mA
晶棒直徑	3～12英寸
晶棒長度	500㎜
測量晶向	111、100
定向精度	0.008度（±30″）
角度顯示	以度為單位、最小讀數(shù)0.001度
射線窗口	腳踏電磁光閘
計(jì)算角度	α與β（X與Y）
尺 寸	長830×寬950×高120
重 量	260㎏