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GA型測角儀：
按測量晶圓片，晶棒設(shè)計(jì)，樣品臺帶有承重軌道，可測30公斤，直徑Φ2--6英寸（可增加到8英寸）的晶圓片與晶棒；在樣品臺上加有真空吸氣裝置，能測量晶圓片硅（111）藍(lán)寶石A,C,R等其它晶體的角度，同時可測晶棒的參考面或OF面（110）A等角度。 | |
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GB型測角儀：
專為硅、藍(lán)寶石晶棒設(shè)計(jì)，設(shè)計(jì)為寬130mm、長300mm定位平托板,配2個可移動尼龍V型槽晶棒托，測直徑Φ2--Φ6英寸，長400mm晶棒的端面，如：硅（111）藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度；第一個測2---3英寸端面，第二個測4---6英寸端面。 | |
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GC型測角儀：
按測晶棒設(shè)計(jì)，樣品臺帶有承重軌道，有滾杠型支撐架。可測30公斤，直徑Φ2--Φ8英寸，長度為400--500mm的晶棒的端面。在樣品臺上加有真空吸氣裝置，可通過改變滾杠寬度，達(dá)到測Φ2--Φ6英寸目的，轉(zhuǎn)動晶棒用以測量端面如：硅（111）藍(lán)寶石C面等其它角度的晶體。 | |
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GD型測角儀：
該型號測角儀專為晶圓片參考面的測量而設(shè)計(jì)，測切完片后的晶圓片的參考面OF面（110）藍(lán)寶石A面等其它晶體的角度，樣品臺設(shè)有吸氣裝置，測量直徑Φ2--Φ8英寸，厚度0.5mm以上的晶圓片OF面。 | |
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GE型測角儀：
該型號測角儀專為大直徑晶圓片而設(shè)計(jì)的，可測直徑Φ2--Φ8英寸的晶圓片，如：硅（111）藍(lán)寶石C面等其它晶體的角度，晶片樣品板有10×10㎜方格，用于晶圓片上下2點(diǎn)180°和4點(diǎn)90°的測試。 | |
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GF型測角儀：
該型號測角儀樣品臺，專為鉆床加工好的籽晶條的測量設(shè)計(jì)，能測Φ5---Φ20mm圓籽晶，方型5--20mm，長度150mm的籽晶條，測量晶面如：硅（111，100）等其它晶體的角度。 | |
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GK型測角儀：
該型號測角儀能測直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片，通過改變樣品板墊塊傾斜角±6°，±8°±15°度位置，來測晶圓片角度，如：砷化稼（111,100）等其它晶體的角度。 | |
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GH型測角儀：
該型號測角儀能測直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片，通過旋轉(zhuǎn)90°度，改變樣品板傾斜角±6°度位置來測晶圓片的角度，如：砷化稼（111,100）等其它晶體的角度。 | |
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GL型測角儀：
該型號測角儀能測直徑Φ2---Φ6英寸晶圓片；如硅（111）藍(lán)寶石C等角度；同時立測能測晶棒參考面或OF，并有垂直參考尺，便于劃線加工參考面，如硅：110面等其它晶體的角度。 | |
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