YX-9型藍(lán)寶石定向粘接設(shè)備，主要是針對(duì)未切片前的藍(lán)寶石晶棒進(jìn)行定向與粘接，儀器利用專門設(shè)計(jì)的夾具對(duì)晶棒進(jìn)行X軸與Y軸的調(diào)整，將晶棒偏離的角度定向校準(zhǔn)后與料板進(jìn)行粘接，顯示器為外置式，樣品托板加裝高精度稱重直線軌道，可測(cè)量直徑2-6英寸，長(zhǎng)50-260mm的晶棒。

  技術(shù)參數(shù)：

X 射線管	銅靶，陽(yáng)極接地，強(qiáng)迫風(fēng)冷
管 電 壓	30KVP，全壓合閘
管 電 流	0-5mA，連續(xù)可調(diào)
電源輸入	交流220V 不大于0.3KW
綜合精度	±30″
角度數(shù)字顯示	θ：度、分、秒顯示，最小讀數(shù)10″
計(jì)數(shù)器旋轉(zhuǎn)角度	2θ角-10°-----+120°
樣品晶體旋轉(zhuǎn)角度	θ角-10°-----+60°
計(jì) 數(shù) 管	蓋革計(jì)數(shù)管，工作電壓700---1200V
時(shí) 間 常 數(shù)	0.1、0.4、3秒；3檔可調(diào)
保 護(hù)	高壓連鎖保護(hù)，溫度保護(hù)
狹 縫	4′、5′、6′
測(cè)晶體重量	最重30KG的晶棒
測(cè)晶體直徑	一側(cè)Φ2-------Φ6英寸晶圓片、晶棒
測(cè)晶棒長(zhǎng)度	另一側(cè)Φ2-------Φ4英寸,260毫米長(zhǎng)晶棒
工 作 位	雙測(cè)角儀、雙工作臺(tái)
外型尺寸	1140×650×1030mm
儀器重量	250KG