X 射線管

銅靶，陽(yáng)極接地，強(qiáng)迫風(fēng)冷

管 電 壓

30KVP，全壓合閘

管 電 流

0-5mA，連續(xù)可調(diào)

電源輸入

交流220V 不大于0.3KW

綜合精度

±30″

角度數(shù)字顯示

θ：度、分、秒顯示，最小讀數(shù)10″

計(jì)數(shù)器旋轉(zhuǎn)角度

2θ角-10°-----+120°

樣品晶體旋轉(zhuǎn)角度

θ角-10°-----+60°

計(jì) 數(shù) 管

蓋革計(jì)數(shù)管，工作電壓700---1200V

時(shí) 間 常 數(shù)

0.1、0.4、3秒；3檔可調(diào)

保 護(hù)

高壓連鎖保護(hù)，溫度保護(hù)

狹 縫

4′、5′、6′

測(cè)晶體重量

最重30KG的晶棒

測(cè)晶體直徑

一側(cè)Φ2-------Φ6英寸晶圓片、晶棒

測(cè)晶棒長(zhǎng)度

另一側(cè)Φ2-------Φ4英寸,260毫米長(zhǎng)晶棒

工 作 位

雙測(cè)角儀、雙工作臺(tái)

外型尺寸

1140×650×1030mm

儀器重量

250KG