X 射線管

銅靶，陽極接地，強迫風冷

管 電 壓

30KVP，全壓合閘

管 電 流

0-5mA，連續可調

電源輸入

交流220V 不大于0.3KW

綜合精度

±30″

角度數字顯示

θ：度、分、秒顯示，最小讀數10″

計數器旋轉角度

2θ角-10°-----+120°

樣品晶體旋轉角度

θ角-10°-----+60°

計 數 管

蓋革計數管，工作電壓700---1200V

時 間 常 數

0.1、0.4、3秒；3檔可調

保 護

高壓連鎖保護，溫度保護

狹 縫

4′、5′、6′

測晶體重量

最重30KG的晶棒

測晶體直徑

一側Φ2-------Φ6英寸晶圓片、晶棒

測晶棒長度

另一側Φ2-------Φ4英寸,260毫米長晶棒

工 作 位

雙測角儀、雙工作臺

外型尺寸

1140×650×1030mm

儀器重量

250KG