YX-5A高精度藍寶石晶體定向儀：是在YX-2D6A定向儀基礎上升級產品，配置單色器,數字顯示為6位，最小讀數1″，精度±15″針對單晶硅、藍寶石、砷化稼等多種晶體設計,主要用于晶圓片、晶棒的測量,操作方便，顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道，屬于通用熱銷機型。
   標準配置如下：GA, GB測角儀
   1、一側GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片；111, 100, 等角度；能測晶棒參考面110；OF等角度。藍寶石A,C,R面等角度。
   2, 另一側GB專為晶棒設計，設計為寬130，長300平托板,配2個可移動尼龍V型槽晶棒托，能測Φ2---Φ6英寸晶圓片；能測晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長400晶棒 ；如：硅（111）（100）藍寶石C面等角度；第一個測2---3英寸端面，第二個測4---6英寸端面。

  主要參數：