X射 線 管

銅靶，陽極接地，強迫風冷

管 電 壓

30KVP，全壓合閘

管 電 流

0---5mA，連續可調

整 機 功 率

不大于0.3KW

定 向 精 度

±30″

蝸輪運動誤差

不大于30″

計數器轉角度

-10°------+100°

樣品轉角度

-10°------+50°

計 數 管

蓋革管，電壓600-----1100V

時間常 數

分0.1、0.4、3秒三檔可調

保 護

高壓連鎖保護，溫度保護

狹 縫

4′、5′、6′

外 型 尺 寸

1200mm×650mm×1100mm

儀 器 重 量

250KG

測樣品直徑

硅單晶 Φ3---Φ8英寸晶圓片；

測晶棒長度

硅單晶 Φ3—8英寸；500毫米長晶棒