X射 線 管

銅靶，陽(yáng)極接地，強(qiáng)迫風(fēng)冷

管 電 壓

30KVP，全壓合閘

管 電 流

0---5mA，連續(xù)可調(diào)

整 機(jī) 功 率

不大于0.3KW

定 向 精 度

±30″

蝸輪運(yùn)動(dòng)誤差

不大于30″

計(jì)數(shù)器轉(zhuǎn)角度

-10°------+100°

樣品轉(zhuǎn)角度

-10°------+50°

計(jì) 數(shù) 管

蓋革管，電壓600-----1100V

時(shí)間常 數(shù)

分0.1、0.4、3秒三檔可調(diào)

保 護(hù)

高壓連鎖保護(hù)，溫度保護(hù)

狹 縫

4′、5′、6′

外 型 尺 寸

1200mm×650mm×1100mm

儀 器 重 量

250KG

測(cè)樣品直徑

硅單晶 Φ3---Φ8英寸晶圓片；

測(cè)晶棒長(zhǎng)度

硅單晶 Φ3—8英寸；500毫米長(zhǎng)晶棒