|
YX-2D6A藍寶石晶體定向儀：是在標準定向儀基礎(chǔ)上,針對單晶硅、藍寶石、砷化稼等多種晶體設(shè)計,主要用于晶圓片、晶棒的測量,顯示器為外置式,樣品臺加裝承重軌道.屬于通用型。
標準配置如下：GA, GB測角儀。
1、一側(cè)GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片；111, 100, 等角度；能測晶棒參考面110；OF等角度。藍寶石A,C,R面等角度.
2、另一側(cè)GB專為晶棒設(shè)計，設(shè)計為寬130，長300平托板,配2個可移動尼龍V型槽晶棒托，能測Φ2---Φ6英寸晶圓片；能測晶棒端面Φ2---Φ6英寸, 長400晶棒 ；如：硅（111）藍寶石C面等角度；第一個測2---3英寸端面，第二個測4---6英寸端面.
主要參數(shù)：
|
項 目 |
參 數(shù) |
|
晶棒直徑 |
2---6英寸、最大8寸 |
|
晶棒長度 |
400 mm |
|
樣品板面積 |
43寬×70高mm |
|
定向精度 |
±30″ |
|
數(shù)顯方式 |
θ：度；分；秒；最小讀數(shù)10″ |
|
顯示器 |
外置立式 |
|
技術(shù)指標 |
符合YX-2參數(shù)。 |
兩邊測角儀客戶也可根據(jù)本公司晶體尺寸、形狀選配不同型號測角儀,請參考我公司的G系列測角儀（GA、GB、 GC、GD, GE、 GF、GH）的型號選購配置。
|
YX-2D6A 通用型（GA＋GB適用晶圓片、晶棒）
1，一側(cè)GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片；如硅（111）藍寶石C等角度；同時能測晶棒參考面或OF；如硅：（110）藍寶石A面等其它晶體的角度。
2，另一側(cè)GB專為晶棒設(shè)計，配有寬130㎜，長300㎜平托板，配2個可移動尼龍V型晶棒托，能測Φ2---Φ6英寸晶圓片；同時能測Φ2---Φ6英寸, 長400㎜晶棒端面 ；如硅：（111）藍寶石C面等其它晶體的角度。第一個測2---3英寸，第二個測4---6英。 | |
|
YX-2D6B （GA＋GC適用晶圓片、大晶棒）
1，一側(cè)GA測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片；如硅（111）藍寶石C等角度；同時能測晶棒參考面或OF；如硅：（110）藍寶石A面等其它晶體的角度。
2， 另一側(cè)GC測角儀能測晶棒端面，測量時可通過改變滾杠寬度達到測量Φ2---Φ6英寸，長400㎜晶棒端面目的，如硅：（111，100）藍寶石C面等其它晶體的角度。同時也能測晶圓片。 | |
|
YX-2D6C （GA＋GD適用晶圓片、晶圓片參考面）
1， 一側(cè)GA測角儀能測Φ2---Φ6英寸晶圓片，如硅：（111;100）藍寶石A,C,R面等其它晶體的角度。
2， 另一側(cè)GD測角儀能測，晶棒切完片后的Φ2---Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面。如硅：（110 ）藍寶石A面等其它晶體的角度。 | |
|
YX-2D6D （GB＋GF適用晶棒，籽晶條）
1， 一側(cè)GB測角儀能測晶圓片；能測Φ4---Φ6英寸, 長400㎜晶棒端面，如硅:（111）藍寶石,C,R面等其它晶體的角度。
2， 另一側(cè)GF測角儀配置一個高度可調(diào)籽晶測試架，測Φ5—20㎜圓或方型，長150㎜籽晶端面, 如硅:（111）藍寶石C 面等其它晶體的角度。 | |
|
YX-2D6E （GD＋GK適用晶片參考面，正負6°±15°角）
1， 一側(cè)GD測角儀能測，晶棒切完片后的Φ2--Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面，如：硅（110）藍寶石A面等其它晶體的角度。
2，另一側(cè)GK測角儀能測直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片，通過改變樣品板墊塊傾斜角±6°，±8°±15°度位置，來測晶圓片角度，如：砷化稼（111,100）等其它晶體的角度。 | |
|
YX-2D6F （GE＋GD適用晶圓片、園片參考面）
1，一側(cè)GE測角儀專為測大直徑晶圓片而設(shè)計，測直徑2--8英寸的晶圓片，高400㎜晶棒，如硅：（110）藍寶石C面等其它晶體的角度，樣品板有10×10㎜方格，用于晶圓片2點180°和4點90°的測試。
2，另一側(cè)GD測角儀能測、晶棒切完片后的Φ2---Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面,如硅：（110）藍寶石A面等其它晶體的角度。 | |
|
YX-2D6G （GD＋GH適用晶片參考面，正負園片±6°角）
1，一側(cè)GD測角儀能測，晶棒切完片后的Φ2--Φ6英寸晶圓片的參考面或OF面。如硅：（110）藍寶石A面等其它晶體的角度。
2，另一側(cè)GH測角儀能測直徑Φ2--Φ6英寸晶圓片，通過旋轉(zhuǎn)90°度，改變樣品板傾斜角±6°度位置來測晶圓片的角度，如：砷化稼（111,100）等其它晶體的角度。 | |
|
YX-2D6H （GL＋GC適用晶圓片、大晶棒）
1，一側(cè)GL測角儀能測晶體Φ2---Φ6英寸晶圓片；如硅：（111）藍寶石C等角度；同時立測能測晶棒參考面或OF，并有垂直參考尺，便于劃線加工磨參考面，如硅：（110）面等其它晶體的角度。
2， 另一側(cè)GC測角儀能測晶棒端面，測量時可通過改變滾杠寬度達到測量Φ2---Φ6英寸，長400㎜晶棒端面目的，如硅：（111，100）藍寶石C面等其它晶體的角度。同時也能測晶圓片。 | |
說明：上述型號的配置也可以用在YX-2H8機型框架上。可根據(jù)客戶的要求設(shè)計加工特殊工作臺，請來電咨詢，我們將熱情為您回復(fù)。
|
